添加時間:2022/09/23
一直以來,不少OLED生產商都面臨著OLED生產過程中鎂材料的沉積問題。為了解決這類問題,INFICON宣布開發出專門用于OLED沉積的高水平鎂敏晶體,顯著縮短了鎂監測的初始時間延遲,同時保持了高穩定性和再現性。

圖片來源:INFICON
石英晶體微天平(QCM)是INFICON最重要的產品之一,用于有機發光二極管(OLED)和光學器件制造,以及許多其他應用。由于薄膜的質量負載,QCM的共振頻率發生了變化,這使得它可以被用作測量襯底上薄膜厚度積累速率的替代方法。
INFICON高精度傳感器晶體的設計是基于許多OLED制造商對更穩定的晶體的要求,在控制OLED材料的沉積時,更不容易出現活性下降(活性信號的不穩定)。INFICON高精度傳感器晶體的場性能表明,在出現的次數和很少發生時的量級方面,活性下降幾乎消失提高了速率穩定性。
此前,OLED行業還沒有快速檢測鎂的解決方案。用戶必須解決這個鎂延遲問題,在實際沉積監測之前,在相同的真空室中用鎂預涂晶體。這一額外步驟的預涂鎂需要相當耗時,昂貴且浪費材料。
為了開發鎂敏OLED晶體生產線,INFICON詳細研究了晶體制造的所有組件和加工參數,包括晶體的形狀和光潔度、電極厚度、電極材料和電極的涂覆率。通過對各種晶體的制備、測試和分析,優化了材料和工藝參數。使用經過研究和現場驗證的優化材料和工藝參數,INFICON鎂敏OLED晶體由此誕生。
INFICON目前為標準鎂敏OLED晶體生產線提供金和合金電極材料。此外,更高等級和更穩定的鎂敏晶體生產線(基本上沒有活性下降)也可用于這兩種電極材料。
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