INFICON推出用于OLED沉積的鎂敏晶體

添加時間：2022/09/23

    一直以來，不少OLED生產商都面臨著OLED生產過程中鎂材料的沉積問題。為了解決這類問題，INFICON宣布開發出專門用于OLED沉積的高水平鎂敏晶體，顯著縮短了鎂監測的初始時間延遲，同時保持了高穩定性和再現性。

圖片來源：INFICON

    石英晶體微天平（QCM）是INFICON最重要的產品之一，用于有機發光二極管（OLED）和光學器件制造，以及許多其他應用。由于薄膜的質量負載，QCM的共振頻率發生了變化，這使得它可以被用作測量襯底上薄膜厚度積累速率的替代方法。

    INFICON高精度傳感器晶體的設計是基于許多OLED制造商對更穩定的晶體的要求，在控制OLED材料的沉積時，更不容易出現活性下降（活性信號的不穩定）。INFICON高精度傳感器晶體的場性能表明，在出現的次數和很少發生時的量級方面，活性下降幾乎消失提高了速率穩定性。

    此前，OLED行業還沒有快速檢測鎂的解決方案。用戶必須解決這個鎂延遲問題，在實際沉積監測之前，在相同的真空室中用鎂預涂晶體。這一額外步驟的預涂鎂需要相當耗時，昂貴且浪費材料。

    為了開發鎂敏OLED晶體生產線，INFICON詳細研究了晶體制造的所有組件和加工參數，包括晶體的形狀和光潔度、電極厚度、電極材料和電極的涂覆率。通過對各種晶體的制備、測試和分析，優化了材料和工藝參數。使用經過研究和現場驗證的優化材料和工藝參數，INFICON鎂敏OLED晶體由此誕生。

    INFICON目前為標準鎂敏OLED晶體生產線提供金和合金電極材料。此外，更高等級和更穩定的鎂敏晶體生產線（基本上沒有活性下降）也可用于這兩種電極材料。